用來測量質譜的儀器稱為質譜儀，而熱電質譜儀是采用熱表面電離型離子源用作固體同位素分析和化學分析的質譜計。

  一般來說，在用來測量質譜的儀器稱為質譜儀當中可以分成三個部分：離子化器、質量分析器與偵測器。其基本原理是使試樣中的成分在離子化器中發生電離，生成不同荷質比的帶正電荷離子，經加速電場的作用，形成離子束，進入質量分析器。

  質譜(又叫質譜法)是一種與光譜并列的譜學方法，通常意義上是指廣泛應用于各個學科領域中通過制備、分離、檢測氣相離子來鑒定化合物的一種專門技術。質譜法在一次分析中可提供豐富的結構信息，將分離技術與質譜法相結合是分離科學方法中的一項突破性進展。

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